2021年4月6日上午11時35分，韓國半導(dǎo)體制造商SK海力士旗下的一座工廠發(fā)生了化學(xué)品泄漏事故，導(dǎo)致3名工人受傷。
從韓國媒體的報道來看，發(fā)生化學(xué)品泄漏事故的，是SK海力士位于韓國利川市的M16工廠，事故發(fā)生在這一工廠的5樓，泄漏的是氫氟酸。
據(jù)了解，在泄漏事故發(fā)生時，工人正在對5樓的設(shè)備進(jìn)行檢查，3名工人在泄漏事故中受傷，其中1名員工胳膊和腿部被燒傷，另2名員工則不慎吸入氟酸氣體被立即送往醫(yī)院，截止目前，3人均無生命危險。
經(jīng)韓國警方調(diào)查認(rèn)為，氫氟酸在維護(hù)公司正在試用環(huán)境分析設(shè)備時泄漏。對此SK海力士表示，此次事故是在對新的M16工廠設(shè)備進(jìn)行檢查時發(fā)生的，泄露事故于泄露當(dāng)日已處理妥善，只是少量泄露，對半導(dǎo)體生產(chǎn)沒有影響?！敝档脩c幸的是，
3名受傷的工人在被送醫(yī)急救之后已無大礙。至于真正的化學(xué)品泄漏原因，SK hynix表示將積極協(xié)助當(dāng)?shù)叵谰肿鲞M(jìn)一步調(diào)查。
公開信息顯示，氫氟酸(Hydrofluoric
Acid)是氟化氫氣體的水溶液，清澈，無色、發(fā)煙的腐蝕性液體，有劇烈刺激性氣味。氫氟酸是一種弱酸，具有極強(qiáng)的腐蝕性，能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。如吸入蒸氣或接觸皮膚會造成難以治愈的灼傷。實(shí)驗(yàn)室一般用螢石(主要成分為氟化鈣)和濃硫酸來制取，需要密封在塑料瓶中，并保存于陰涼處。
本次發(fā)生氫氟酸泄露事故的M16工廠，是SK海力士剛剛建成的一座新工廠，該工廠建設(shè)累計(jì)投資達(dá)3.5萬億韓元，主要用于生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品。新工廠的建筑面積大57000平方米，是SK海力士在全球最大的生產(chǎn)基地。作為SK海力士面向未來的一座重要工廠，M16工廠還引進(jìn)了極紫外光刻機(jī)，這是SK海力士首次引進(jìn)這一類設(shè)備。目前M16工廠正在進(jìn)行最后一批生產(chǎn)設(shè)備的裝機(jī)與測試工作，為2021年下半年的正式量產(chǎn)做準(zhǔn)備。
據(jù)了解，DRAM主要可以分為DDR(Double Data Rate)系列、LPDDR(Low Power Double Data
Rate)系列和GDDR(Graphics Double Data
Rate)系列、HBM系列。按目前市場來看，韓國三星、海力士、美國美光三大寡頭壟斷DRAM市場。目前僅以三家巨頭為主，其他廠商包括中國臺灣的南亞科技、華邦電子等。
